elektronu kūļa litogrāfija
litogrāfijas veids, kur izmanto fokusētu elektronu kūli ar ļoti īsu viļņa garumu, lai tieši iedarbotos uz elektronjutīga rezista (polimēra pārklājuma) virsmas un radītu mikrostruktūras un nanostruktūras, kas atbilst plānotajam dizainam Atjaunots 2024. gada 26. aprīlī, Agnese Spustaka
