Nanotehnoloģiju metodes iedala divās grupās. Lejupējās metodēs (top-down) objektus iegūst no lielāka materiāla, kuru, izmantojot instrumentus, samazina līdz vēlamajam rezultātam. Lejupējās metodes ir malšana (milling), apstarošana ar augstas intensitātes lāzera starojumu jeb lāzera ablācija (laser ablation), kodināšana ar jonu plūsmu (ion beam etching), kodināšana ar plazmu (plasma etching), lokizlāde (arc discharge), kā arī elektronikas industrijā plaši pielietotā optiskā litogrāfija. Lejupējās metodes ir tehnoloģiski vieglāk īstenojamas liela skaita objektu iegūšanai. Pretējs princips ir augšupējās metodēs (bottom-up), kurās objekti tiek radīti, kombinējot atsevišķus atomus, molekulas un citus elementus. Zināmākās no šīm metodēm ir ķīmiskās sintēzes reakcijas, manipulatoru (piemēram, atomspēku mikroskopa) izmantošana, putināšana (sputtering), ķīmisko tvaiku nogulsnēšana (chemical vapor deposition), plāno kārtiņu uzklāšana ar rotējoša diska metodi (spin coating), pašorganizācijas procesi (self-assembly). Augšupējās metodes cenšas atdarināt dzīvo dabu, kurā var sastapt daudzus pašorganizācijas procesus, piemēram, šūnu veidošanos.
Nanotehnoloģijās objektu izveidei bieži kombinē vairākas metodes. Procesa novērošanai un kontrolei izmanto mikroskopijas un analīzes metodes, kas tiek lietotas nanofizikas pētījumos.

Fiziķis sagatavo mikrooptikas pamatni plazmas kodināšanai tīrtelā. Tīringene, Vācija, 10.04.2006.
Avots: globalmoments/ullstein bild via Getty Images, 544284121.