Galvenajās fotoelektronu spektrometra komponentes ir jonizējošā starojuma avots un detektors fotoelektronu kinētisko enerģiju analīzei. Atkarībā no elektromagnētiskā starojuma diapazona izšķir divas fotoelektronu spektroskopijas metodes: UPS, kurā izmanto UV starojumu, un XPS, kurā izmanto rentgenstarus. Piemērots starojuma avots UPS ir hēlija gāzizlādes (helium discharge) lampa, kura izstaro divas šauras un intensīvas līnijas UV spektra diapazonā (fotonu enerģijas: 21.2 un 40.8 eV). Visplašāk lietotie rentgenstaru avoti XPS ir rentgenlampas ar alumīnija vai magnija anodiem. Augsta jonizējošā starojuma intensitāte un šaurs fotonu enerģiju sadalījums ir svarīgi kritēriji labas izšķirtspējas spektru mērījumiem. Izmantojot piemērotu monokristālu, piemēram, kvarca, monohromatorus, rentgenstaru līnijām var nodrošināt papildus sašaurinājumu. Spektroskopisko pētījumu veikšanai arvien biežāk izmanto sinhrotronus jeb cikliskos elektronu paātrinātājus. Sinhrotrona starojums ir par vairākām kārtām spožāks nekā rentgenlampām, turklāt tam piemīt impulsu struktūra un noteikta polarizācija, kas paver plašas eksperimentālās iespējas. Fotoelektronu kinētisko enerģiju analīzei visbiežāk izmanto analizatorus ar pussfēriskiem elektrodiem. Elektroni, kas nonāk analizatorā, tiek kontrolēti ar speciālu lēcu sistēmu, savukārt elektriskais lauks starp elektrodiem nodrošina atšķirīgu kinētisko enerģiju elektronu atdalīšanu. Variējot elektriskā lauka intensitāti, var selektīvi izvēlēties enerģijas, kas nonāk detektorā. Fotoelektronus daudzkāršojot un saskaitot, tiek iegūts spektrs – fotoelektronu skaits atkarībā no saites enerģijas. Paraugu virsmas tīrības saglabāšanai un fotoelektronu brīvā ceļa garuma palielināšani spektrometrā jānodrošina ultra-augsta vakuuma apstākļi. Jāņem vērā, ka nepārtraukta elektronu izsišana no parauga var izraisīt virsmas uzlādēšanās efektu, radot nobīdes fotoelektronu spektros. Nevēlamo efektu var samazināt, elektrisko strāvu vadošus paraugus iezemējot, bet izolatoriem – mērījumu laikā nodrošinot zemas enerģijas elektronu plūsmu no ārēja avota.

XPS spektrometra komponenšu shematisks attēlojums.
Paraugu analīzei dažādos slāņu dziļumos (depth profiling) var izmantot vairākas pieejas. Nedestruktīviem virsmas sastāva pētījumiem tiek izmantota leņķiski izšķirtā XPS (angle-resolved XPS, ARXPS) metode. Mainot parauga leņķi attiecībā pret analizatoru, ir iespējams detektēt elektronus, kas nāk no dažādiem parauga slāņiem. ARXPS izmanto plānu kārtiņu biezuma, kā arī ķīmisko elementu sadalījuma noteikšanai. Destruktīvai dažādu slāņu dziļumu analīzei var veikt parauga virsmas kodināšanu, bombardējot to paātrinātiem joniem.
Fotoemisijas elektronu mikroskopija (photoemission electron microscopy, PEEM; arī fotoelektronu mikroskopija – photoelectron microscopy) ir elektronu mikroskopijas un spektroskopijas kombinēta realizācija. Ar šo metodi var iegūt informāciju par emitēto fotoelektronu telpisko sadalījumu paraugā ar augstu izšķirtspēju. Ir iespējams veikt arī laikā izšķirtus mērījumus (time-resolved photoemission spectroscopy, TRPES), kas sniedz ieskatu elektronu dinamiskajos procesos.
Ožē elektronu spektroskopija (Auger electron spectroscopy, AES) ir komplementāra metode fotoelektronu spektroskopijas metodēm. Metodes pamatā ir Ožē efekta rezultātā emitēto elektronu analīze pēc parauga apstarošanas ar primāro elektronu kūli. Elektronu kūļa fokusēšana ir vienkāršāka nekā rentgenstariem, kā rezultātā informācija, ko iegūst AES, ir ar augstu telpisko izšķirspēju un ķīmisko elementu jutību. Metodes ierobežojumi ir saistīti ar elektrisko strāvu nevadošu paraugu pētījumiem.

Ierosinātie procesi dažādās elektronu spektroskopijas metodēs.