Par pirmo aizsargtērpa prototipu var uzskatīt tā saucamo mēra ārsta apģērbu viduslaikos – garu ādas mēteli, kas nosedz ķermeni, komplektā ar masku, zābakiem un ādas cimdiem. 1910.–1911. gadā Mandžūrijā (Ziemeļķīnā) izcēlās mēra epidēmija, kurā mirstība sasniedza gandrīz 100 %, – no mēra nomira aptuveni 60 000 cilvēku. Ārstu aizsardzībai pret infekciju tika izgatavoti speciāli aizsardzības tērpi, kas izrādījās efektīvi. Šie tērpi tiek uzskatīti par moderno aizsargtērpu pirmajiem paraugiem. Pirmā pasaules kara laikā karojošās valstis papildus smacējošām kaujas vielām (hloram, fosgēnam) sāka izmantot arī kodīgā tipa ķīmiskās kaujas vielas, kas iedarbojās uz cilvēka ādu; šīs vielas bija iprīts, luizīts. Līdz ar to aizsargtērpu attīstībā iezīmējās tendence par galveno apdraudējumu uzskatīt ķīmiskos ieročus. Pēc Otrā pasaules kara aizsargtērpu attīstība un ražošana turpinājās. Mūsdienās ķīmiskie aizsargtērpi ir arī Latvijas Republikas Nacionālo bruņoto spēku rīcībā.
Mūsdienās ķīmiskos aizsargtērpus izmanto gan bruņotajos spēkos, gan ugunsdzēsēju vienībās, zinātniskajos institūtos, ķīmisko vielu rūpniecībā, gan arī citviet.
